通道：3進(jìn)1出(chū)  /4進(jìn)1出  /6進(jìn)1出

每通道(dào)流(liú)量(liáng)：0~500ml/min（其(qí)他0-200ml/min請(qǐng)聯係(xì)）

能(néng)否與(yǔ)第三方(fāng)軟件(jiàn)通訊：能

稀釋比：1-1000

適用(yòng)氣體：N2, O2, CO2, CH4, Air,NO,CO,Ar,C2H4,C2H6,SF6,C3H8,C4H10, H2 ,He，

DME(C2H6O), N2O,SO2 等(děng)等(其他氣體，請咨詢(xún))

通道：3進(jìn)1出

每(měi)通道流量(liáng)：0~5000ml/min（其(qí)他0-200ml/min請(qǐng)聯係）

能否與第(dì)三方軟(ruǎn)件通訊：能

稀釋比：1-1000

適用氣體：N2, O2, CO2, CH4, Air,NO,CO,Ar,C2H4,C2H6,SF6,C3H8,C4H10, H2 ,He，

DME(C2H6O), N2O,SO2 等等(其(qí)他氣體，請咨(zī)詢)

通(tōng)道：4進1出/每通(tōng)道流量(liáng)：0~5000ml/min

能(néng)否與第(dì)三方(fāng)軟(ruǎn)件通訊(xùn)：能

稀釋(shì)比：1-1000

適用(yòng)氣(qì)體(tǐ)：N2, O2, CO2, CH4, Air,NO,CO,Ar,C2H4,C2H6,SF6,C3H8,C4H10, H2 ,He，DME(C2H6O), N2O,SO2 等等(其(qí)他(tā)氣體，請咨詢(xún))

通道(dào)：6進(jìn)1出(chū)/每通道(dào)流量：0~5000ml/min

能否與第三方軟件(jiàn)通訊：能

稀(xī)釋比：1-1000

適用氣(qì)體：N2, O2, CO2, CH4, Air,NO,CO,Ar,C2H4,C2H6,SF6,C3H8,C4H10, H2 ,He，DME(C2H6O), N2O,SO2 等等(其(qí)他(tā)氣(qì)體，請咨詢)

通道(dào)：3進1出/每(měi)通(tōng)道流量：0~15000ml/min

能否與(yǔ)第三方軟件通(tōng)訊：能

稀釋(shì)比：1-1000

適用氣體：

適用氣(qì)體(tǐ)：N2, O2, CO2, CH4, Air,NO,CO,Ar,C2H4,C2H6,SF6,C3H8,C4H10, H2 ,He，DME(C2H6O), N2O,SO2 等等(其他(tā)氣(qì)體(tǐ)，請咨詢(xún))