氣(qì)體傳感(gǎn)器(qì)的(dí)工作(zuò)原理(lǐ)與新技術發展(zhǎn)
　　高分子氣體傳感(gǎn)器，對(duì)特定氣體分(fēn)子具有靈敏(mǐn)度(dù)高，選(xuǎn)擇(zé)性好，且(qiě)結(jié)構(gòu)簡單(dān)，可(kě)在(zài)常(cháng)溫下使用，補(bǔ)充(chōng)其它氣體傳(chuán)感器(qì)的(dí)不足(zú)，超(chāo)聲波(bō)氣體(tǐ)傳感(gǎn)器(qì)發展(zhǎn)前景良好。
　　SAW氣體(tǐ)傳感器(qì)製作(zuò)在(zài)壓電(diàn)材料的襯底(dǐ)上，一(yī)端(duān)的(dí)表(biǎo)麵為輸入傳感(gǎn)器，另(lìng)一端(duān)為輸(shū)出傳感(gǎn)器。兩者之間的(dí)區(qū)域澱積了能吸附VOC的(dí)聚合物(wù)膜。被(bèi)吸附的分子(zǐ)增加(jiā)了傳感(gǎn)器的質量(liáng)，使得(dé)聲波(bō)在(zài)材料(liào)表麵(miàn)上(shàng)的(dí)傳播(bō)速度(dù)或頻率(shuài)發生(shēng)變化(huà)，通過測(cè)量(liáng)聲波的(dí)速(sù)度或(huò)頻率來測量(liáng)氣體(tǐ)濃度(dù)，主要氣(qì)敏材(cái)料有聚異(yì)丁烯(xī)，氟聚(jù)多元醇等，用來測(cè)量苯乙(yǐ)烯和(hé)甲(jiǎ)苯(běn)等有(yǒu)機(jī)蒸(zhēng)汽(qì)。其優勢(shì)在(zài)於(yú)選擇性(xìng)高(gāo)，靈敏(mǐn)度(dù)高，在很(hěn)寬(kuān)的溫(wēn)度(dù)範圍內穩定(dìng)，對濕度響應低和(hé)良(liáng)好的可重復性。SAW傳(chuán)感器輸出為準(zhǔn)數字信(xìn)號(hào)，因此可簡便地(dì)與(yǔ)微處理器(qì)接(jiē)口(kǒu)。此(cǐ)外，SAW傳感(gǎn)器(qì)采用半(bàn)導(dǎo)體平(píng)麵工(gōng)藝(yì)，易於將(jiāng)敏感器(qì)與相配的電子(zǐ)器(qì)件結合在一(yī)起(qǐ)，實(shí)現(xiàn)微型化，集(jí)成化，從而降低測(cè)量(liáng)成本。W石英振子(zǐ)式(shì)氣體傳感器(qì)
　　石英(yīng)振(zhèn)子微秤（QCM）由(yóu)直(zhí)徑(jìng)為(wéi)數微米的石(shí)英(yīng)振(zhèn)動(dòng)盤和(hé)製(zhì)作在盤兩邊(biān)的(dí)電(diàn)極(jí)構成。當振蕩信號(hào)加(jiā)在器件(jiàn)上(shàng)時，器件(jiàn)會在它的特(tè)征頻率(shuài)（1～30MHz）發生(shēng)共振。振動盤上澱積了有機聚合(hé)物，聚合(hé)物吸附(fù)氣(qì)體(tǐ)後(hòu)，使(shǐ)器件質量增加，從而引起(qǐ)石(shí)英振子的(dí)共振(zhèn)頻率(shuài)降低，通(tōng)過(guò)測(cè)定(dìng)共(gòng)振頻率的變(biàn)化(huà)來識別氣體。